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中國首臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機研發(fā)成功

   5月19日人民網(wǎng)消息,中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院和河南通用智能裝備有限公司近日聯(lián)合宣布成功研制我國首臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機,該產(chǎn)品在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平,彌補了我國在此領(lǐng)域的空白。


   晶圓切割機廣泛應(yīng)用于光伏及半導(dǎo)體領(lǐng)域,日本DISCO公司是全球第一大供應(yīng)商。在55nm以下的芯片工藝制程中,采用傳統(tǒng)晶圓切割技術(shù)對晶圓進行封裝時,容易導(dǎo)致晶體破碎;而激光隱形切割是在內(nèi)部晶格上進行切割,不會在晶圓表面留下切割痕跡,從而避免晶圓損傷。


   據(jù)了解,鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院成立于2017年,致力于自主安全工業(yè)控制器、高端裝備制造、新一代信息技術(shù)的研發(fā)與突破,旗下共有軌道交通綜合管理技術(shù)、自主可控工業(yè)控制器技術(shù)、大數(shù)據(jù)與信息安全技術(shù)、智能裝備與機器人技術(shù)、集成電路設(shè)計技術(shù)服務(wù)五個公共技術(shù)研發(fā)服務(wù)平臺。


   2018年和2019年上半年,軌道交通研究院分別實現(xiàn)營業(yè)收入0元、10.91萬元,凈利潤分別為586.28萬元、-816.42萬元。


   019年12月,中國長城以9800.96萬元100%控股鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院;加上該年度8月所收購的中國電子下屬中國振華電子集團有限公司及華大半導(dǎo)體有限公司所持天津飛騰信息技術(shù)有限公司共計35%股權(quán),中國長城有意提升其信息化生態(tài)體系的整體實力和核心競爭力。


   此次軌道交通研究院和河南通用智能裝備有限公司聯(lián)合研發(fā)的半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,加上特殊運動平臺,可以實現(xiàn)加工平臺在高速運動時保持高穩(wěn)定性、高精度,運動速度可達500mm/s,效率遠高于國外設(shè)備。


   該設(shè)備配備了匹配單晶硅光譜特性的激光器、靈活可調(diào)的感光芯片相機+鏡頭、支持實時確認和優(yōu)化的同軸影像系統(tǒng),可大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率和效益,將能很好滿足我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)需求以及核心技術(shù)的自主可控要求,降低我國在核心裝備領(lǐng)域?qū)H的依賴。

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